TEM金屬薄膜樣品的制備方法
發(fā)布日期：2012-07-23
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（1）用線切割機(jī)將樣品切割成0.5~1mm薄片。 （2）用水砂紙由粗到細(xì)（一般最細(xì)到1000#砂紙）將試樣的兩面磨光、磨薄，厚度50μm左右。此步驟也可用化學(xué)方法減薄。 （3）用沖孔機(jī)等將薄片剪成φ3mm的小圓片，剪掉并磨平圓片邊緣的毛邊。 （4）用雙噴電解拋光儀將樣品減薄并穿孔。 為防止樣品氧化，電解也要冷卻至-20℃左右。電解液、電流、電壓根據(jù)試樣的具體情況選定。最佳狀態(tài)制成的薄膜樣品表面平滑、光亮。
